进口化学气相沉积设备_PECVD化学气相沉积设备
NRP-4000 反应离子刻蚀（RIE）/等离子增强化学气相沉积（PEVCD）双系统一体机
一、NRP-4000系统应用：
该系统是我们专门为R&D环境提供的一种更经济有效的双功能方案(RIE/PECVD)用于不同的应用，替代购买两套独立的系统。双系统一体机可以极大的节省实验室的空间和成本。该系统通过共用涡轮分子泵组以及两个腔体之间的门阀，还有计算机控制系统，以及有些部分的MFC等核心组件的共用，节省成本。用户可通过计算机控制软件选择RIE或PECVD,用户针对应用在不同的腔体中放置相应的样片即可通过计算机软件控制并自动完成整个工艺。
此双系统设备支持所有的RIE刻蚀应用和PECVD沉积应用。
二、NRP-4000双系统概述：
在PECVD一侧我们可以沉积非晶硅、氧化硅和氮化硅，在RIE一侧可以刻蚀氧化硅和氮化硅（当然可以根据使用不同的工艺气体达到不同的应用）。
在RIE一侧具有一些独特的性能：基于PC计算机全自动的工艺控制而确保优越的可重复性，并且独特的样品台冷却技术防止RF射频泄漏，从而不会产生业内其它系统所发生的那样自偏压的下降和偏离。
过去的设计中PECVD一侧的14“不锈钢立方腔体。*近，我们已经改变腔体的设计为13”阳极氧化铝腔体（如RIE腔体），这是我们更新的设计并且减少了淋浴头等离子源和样品台之间的间距，并在晶圆上取得了*佳的均匀度。请参考附上的工艺数据。在数据中可以看到我们可以在200度左右的温度下沉积氧化硅和氮化硅。我们为反应气体提供了气体环，使得生长的薄膜具有更出色的化学计量比。
在RIE一侧，我们也可以提供额外的离子源-淋浴头RF等离子源用于等离子各向同性刻蚀。系统也具备RF电源从等离子源切换到RIE端用于各向异性刻蚀的能力
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