现阶段应用比较广泛的便携式抽真空机组分为两种，一种是扩散泵机组，另一种是分子泵机组。扩散泵机组与分子泵机组配置价格相差较大，使用性能也有所不同。扩散泵在使用中需要用冷却水来给循环泵组降温，对水温有一定的要求，温度不得超过25℃，扩散泵需要开机预热三十至四十分钟后才能进入正常的工作状态，真空补抽结束后关机时间为四十分钟。分子泵的使用于扩散泵完全不同，当前级泵抽真空到一定程度时，就可以开启分子泵进行精抽，真空补抽结束后即可关闭分子泵，无需用冷却水冷却泵体和等待开关机。
低温绝热容器抽真空系统的实际操作过程：
在对容器进行加热的同时就可以开始抽真空，加热在容器的内部外部均可进行。其步骤为：
①首先开启选片真空泵，当真空低于-0.1Pa时可开启罗茨真空泵，对低温绝热容器的夹层进入预抽真空，预热温度110℃，预抽时间1h~2h；
②真空度达到6.5×10-2Pa时转入抽高真空，与预抽连续进行，操作中先关闭预抽阀然后打开前级阀，*后打开高阀；
③抽高真空，起始真空度为6.5×10-2Pa，加热温度为250~320℃；
④当加热温度为250℃，自预抽阶段始，持续抽取120~144h，真空度达5.0×10-4Pa终结。
内置式加热法及其装置几乎适应所有规格的容器，加热效率，节约能源等方面具有显著优点。 |
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