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供应wafer robot_科威聯股份有限公司_供应wafer robot

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公　司：科威聯股份有限公司

发布时间：2016年01月18日

有效期：2016年07月16日

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联系信息

企业信息

謝淑惠女士 (管理部課長)

联系时，请说是在企业录看到的，谢谢！

电　　话： 886-3-5512887 传　　真：手　　机：地　　址：中国台湾新竹市竹北市聯興三街136巷75號邮　　编：
公司主页：	http://kuwailian.qy6.com.cn(加入收藏)

详细说明

被搬運物 300mm wafer
可搬送重量 2kg以下
臂旋转上下
動作範圍 314mm 355° 310mm
平均速度 800mm/sec 200°/sec 350mm/sec
*高速度 1200mm/sec 250°/sec 500mm/sec
分辨率 0.01mm 0.0015° 0.001mm
反覆精度 K0.1mm K0.01° K0.01mm
通訊 RS232
電源三相 AC220V 15A 50/60Hz
乾燥氣壓 4kgf~6kgf 10L/min
真空來源 -50kPa~-80kPa 10L/min

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