MYCRO公司提供的SPS匀胶机SPIN150i、SPIN200i等系列产品,请您放心选购!
SPS匀胶机介绍
SPS匀胶机是专为MEMS、半导体、光伏和微流体等领域的科研或小批量生产而设计制造的的,适用于清洗、甩干、涂胶、显影和刻蚀等多种工艺。
SPIN 150i本匀胶机机身采用全工程塑料制作,您可以根据自身需求选择通用的α相NPP-H材质机型或高密度PTFE材质机型。
仪器简介:
德国品质(配有防污染内衬,标配两个大小吸盘,性能优于同类品牌)
SPIN150i单片匀胶机/旋涂仪具有广泛应用,包括 甩干,冲洗,清洁,涂胶。台式设计,无缝全塑料材质, 有天然聚丙烯(NPP)和聚四氟乙烯材质(PTFE)可选。有各种吸盘,适合样品衬底5mm--160mm (or 6”) or 4"x4". 更大尺寸均有!!
技术参数:
*大样品尺寸: 160mm
*大腔体直径: 202mm
伺服控制马达
程序数字处理控制器:
存储50个程序,每个程序可设计99步菜单指令
转速 1-12000 rpm
2 free programmable outputs (dry contacts)
仪器尺寸: 275 (w) x 240 (d) x 450 (h) mm
各种样品尺寸的台式匀胶机(*大至1000mm!)
天然聚丙烯材质(Natural Polypropylene Models)
化学胶
注射 应用 VS. 型号 甩干 冲洗 清洁 刻蚀 手动涂胶 自动涂胶 显影 样品衬底尺寸
手动注射 SPIN150i *大至 160mm
(or 6") OR 4”x4”
SPIN150i-IND
SPIN200-NPP *大至 260mm
(or 8") OR 6”x6”
SPIN200-IND
自动注射 ACD200-NPP
ACD200-NPP-IND
手动注射 MCD300-NPP *大至 360mm
(or 12") OR 8"x8"
MCD300-NPP-IND
自动注射 ACD300-NPP
ACD300-NPP-IND
主要特点:
• *高转速12000rpm而无振动
• 结构紧凑,台式机
• 此匀胶机可以集成到其它系统中
• 无缝天然聚丙烯(NPP)材质适合多数化学胶体,清洁方便
• 对强腐蚀的化学试剂可选用聚四氟乙烯材质的匀胶机
• 大的操作面板使程序输入简便,即使戴上手套也可以操作
• 数字式处理控制器,可以精准,高重复性控制
• 大量程序可编辑,使复杂的涂胶工艺变的灵活
• Programmable Relays, allowing process controlled interfacing with external hardware
• 德国品质(配有防污染内衬,标配两个大小吸盘,性能优于同类品牌) |
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