臭氧消毒灭菌有它许多独特的优点：
1、较高的扩散性：臭氧为气体，扩散性好，无死角，浓度分布均匀。
2、杀菌能力强：臭氧杀菌能力与过氧乙酸相当，高于其它消毒剂。
3、广谱性：适合多种致病微生物，对大肠杆菌、沙门氏菌、金黄色葡萄球菌及甲乙型肝炎病毒、真菌等多种微生物均有很好的杀灭作用。
4、原料易得：臭氧制备是利用我们周围的大气制取，不需储藏设施，节省原料储储所需的占地面积。
5、环保性：臭氧能快速分解成氧气和单原子氧，单原子氧又可自身结合成氧分子，故没有二次污染的问题。被公认为是绿色消毒剂。
下面介绍中央空调系统用臭氧杀菌的计算方法：
设：V1为洁净区空间体积，V2为HVAC系统空间体积，V3为保持洁净区正压所补充的新风对臭氧造成的损失
则灭菌空间的总体积（V）计算为：V=V1+V2+V3
V3的确定：根据实践，归纳出较为可靠的经验公式如下：V3≈HVAC系统循环总风量m3/h*25%（常规新风更换率）×10-20%（保持洁净区正压补充的新风量）×39%（应用臭氧时臭氧半衰期的预算值），即V3=HVAC系统循环总风量×1~2%。
例：灭菌空间总体积（V）为1000m3，灭菌要求为替代化学熏蒸大消毒，对设备和建筑物体表面沉降菌落进行灭菌。按照上述要求空气中臭氧浓度（C）应达到10ppm以上（在工作状态下，折算为19.63mg/m3），臭氧发生器工作一小时后臭氧自然衰退率（S）为61%，需选择机器的臭氧发生量g/h（W）：W=CV/（1-S）=19.63×1000/(1-61%)≈50.33(g/h |
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