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实验室去离子水机工艺图
主要指标
吸光度(254nm,1cm光程):≤0.001
可溶性硅［以(SiO2)计］：＜0.01ppm
微粒(大于0.22μm)含量：＜1/ml
TOC<10ppb UV254nm
终端微滤MF0.22μm
金属阳离子含量(单位ppb): Fe(铁)＜0.002 ,Cu(铜)＜0.002, Al(铝)＜0.003,Ni(镍)＜0.001, Zn(锌)＜0.005,Cr(铬)＜0.001,Na(钠)＜0.02,K(钾)＜0.02
阴离子含量(单位ppb): Clˉ(氯)＜0.01, NO2ˉ(亚硝酸根)＜0.02,NO3(硝酸根)＜0.02, SO4(硫酸根)＜0.01
重金属离子＜0.1ppb
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