FIB测试，FIB检测，
FIB 是英文 Focused Ion Beam的缩写,依字面翻译为聚焦离子束.简单的说就是将Ga(镓)元素离子化成Ga+, 然后利用电场加速.再利用静电透镜(electrostatic)聚焦,将高能量(高速)的Ga+打到指定的点. 基本原理与SEM类似,仅是所使用的粒子不同( e- vs. Ga +)FIB聚焦离子束是针对样品进行平面、界面进行微观分析。检测流程包括：样品制定、上机分析、拍照等，*后提供界面相片等数据。
主要用途：
1、电路修正, 用于验证原型,改善bug，节省开支，增快上市时间。
2、纵面的结构分析可直接于样品上处理,不需额外样品准备。
3、材料分析-TEM样品制备,用于精确定点试片制作,减低定点试片研磨所需人员经验的依赖。
4、电压对比、用于判定Metal(Via/Contact)是否floating。
5、Grain(晶粒)形状大小的判定
SEM测试，SEM检测。
1. 原理
SEM的工作原理是用一束极细的电子束扫描样品，在样品表面激发出次级电子，次级电子的多少与电子束入射角有关，也就是说与样品的表面结构有关，次级电子由探测体收集，并在那里被闪烁器转变为光信号，再经光电倍增管和放大器转变为电信号来控制荧光屏上电子束的强度，显示出与电子束同步的扫描图像。图像为立体形象，反映了标本的表面结构。
2. 性能
设备能够满足可以观察直径为0～200mm（8〞wafer）的试样。
放大倍率：×5～×300,000
设备能够满足可以观察直径为0～200mm（8〞wafer）的试样。
放大倍率：×5～×300,000
一. 环境可靠性检测：1.其中气候环境包含：高低温试验，交变温湿热（温变1-2℃/min)，快速温度循环试验（温变*快20℃/min），温度冲击试验，高温高湿试验，恒定湿热试验，盐雾腐蚀试验(中性盐雾、醋酸盐雾、同加速乙酸盐雾、）等等；
2.其中机械环境包含：振动试验（随机振动，正扫频振动，定频振动），模拟汽输车运试验，碰撞试验，机械冲击试验（半正弦波、方波、后峰锯齿波），跌落试验(1m和1.5m),G值跌落等；
3.其中电气性能包含：表面电阻，接触电阻，绝缘电阻，耐电压，温升试验，摩擦电压、静电消散时间等等； |
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