使用低温等离子净化设备处理废气的过程是一个比较复杂的过程，不过也正是因为这个过程的复杂性才能够保证设备在运行的过程中所体现出来的效果。
低温等离子净化设备借助低气压的无极灯作为低温等离子体的激发体，*大限度地在无极管区实现低温等离子体区，由于低温等离子体在能量跃迁过程中具有极强的能量平衡性，在粒子撞击中失能极少，所以低温等离子体作为原子激发是*理想的一种能。在实践应用中，*大的科题在于低气压究竟是多少帕？管内充什么样的气体*有经济价值？这没有理论模型可言，只有通过实践、实验、分析。
低温等离子净化设备电催化氧化工艺集低温等离子体、微波放电、极板放电与一体，在实际使用中实现废气的有效处理是极为复杂的过程，整个过程在不到1秒的时间内完成。从理论到模型都能探究到相关的机理，通过三种方式的集中放电，废气分子从低能的E,在千分之一秒的时间内跃迁到足以使其电离的Em级，废气分子键充分断裂，在雪崩式的撞击中断裂后的粒子由于质量更小，被进一步跃迁，与反应堆内的氧离子氢氧根离子发生反应，生成无害无味的CO2、H2O以及其它高价化合物。
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