在对低温等离子净化设备进行维护的过程中所需要花费的资金也是比较少的，而且设备只要是正常的使用是不容易出现损坏的。
低温等离子净化设备气体的流速和浓度对于气态污染物治理技术应用来说是两个非常重要的因素。生物过滤和燃烧技术能应用于较高浓度范围，但却受气体的流速所限；电子束照射技术仅有一非常窄的气体流速范围。而低温等离子体技术对气体的流速和浓度都有一个很宽的应用范围，其应用广泛不言而喻。
低温等离子净化设备工艺简单，吸附法要考虑吸附剂的定期更换，脱附时还有可能造成二次污染；燃烧法需要很高的操作温度；联合催化法中，催化剂存在选择性，某些条件(如温度过高)会造成催化剂失活，光催化法只能利用紫外光等；生物法要严格控制pH值、温度和湿度等条件，以适合微生物的生长。
低温等离子净化设备则较好的克服了以上技术的不足，反应条件为常温常压，反应器结构简单，并可同时消除混合污染物，不会产生二次污染等。就经济可行性来说，低温等离子净化设备本身系统构成就单一紧凑，在运行费用方面，微观来讲，因放电过程只提高电子温度而离子温度基本保持不变，这样反应体系就得以保持低温，所以不仅能量利用率高，而且使设备维护费用也很低。
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