曝光机光学玻璃对品质的要求很高，在图型转移的制程中非常重要，它要求紫外线透光率、平行度、强化硬度、平面清洁纯度等一系列光学参数。本公司引进先进的激光仪器、超声波仪器、精雕机和研磨机器等先进设备，同时拥有资深级的技术人员，能及时为客户解决方案。
可根据客户的要求或提供的图纸，样品定做特殊规格、不同槽位和不同孔位的曝光机配备的光学玻璃，同时可按需进行特殊强化处理或钢化处理使其达到耐高温及耐压强的要求。 
●适用于：
ORC曝光机玻璃 
HAKUTO曝光机玻璃 
OLEC曝光机玻璃 
BACHER曝光机玻璃
ONO SOKKI曝光机玻璃
AUTOMA-TECH曝光机玻璃 
C-SUN曝光机玻璃 
CBT曝光机玻璃等等......
●产品主要技术指标：
a)规格：圆片外径从15mm到300mm，内径从5mm到150mm；方片从20×20到300×300；抛b)光产品厚度从0.3到25mm。
c)长、宽尺寸允差：≤ 1mm
d)内外径同轴度：φ30mm内 ≤0.01mm；φ150mm内≤ 0.1mm
e)内孔允差：φ30mm内 ≤ 0.03m；φ150mm内≤ 0.2mm 
f)外径允差：± 0.02mm
g)厚度允差：± 0.1mm
h)面精度：客户要求
i)双面平行差： ≤ 3μm,表面光洁度：O级
j)表面粗糙度：0.4nm以下
k)产品测试仪器精度
干涉仪：≤1λ/20
表面粗糙度检测仪：≤0.01nm
圆度仪：≤0.001mm
曝光机亚克力框
可提供以下型号：
1、EXM-1350上框； EXM-1350玻璃底片框； EXM-1350下对位框；
EXP-2050上框； EXP-2050玻璃底片框； EXP-2050下对位框；
2、Hakuto3510、5010、5020、5080曝光机用光学亚克力；
3、Onosokki EV2100曝光机用光学亚克力；
4、Hitech HTE-5300曝光机用光学亚克力；
5、所有ORC、OLECE、群翊、CBT、志圣、多普等机台的亚克力框； |
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