低温等离子体技术在气态污染物治理方面优势显著。其基本原理是在电场的加速作用下，产生高能电子，当电子平均能量超过目标治理物分子化学键能时，分子键断裂，达到消除气态污染物的目的
低温等离子体去除污染物的原理：
低温等离子体技术处理污染物的原理为：在外加电场的作用下，介质放电产生的大量携能电子轰击污染物分子，使其电离、解离和激发，然后便引发了一系列复杂的物理、化学反应，使复杂大分子污染物转变为简单小分子安全物质，或使有毒有害物质转变成无毒无害或低毒低害的物质，从而使污染物得以降解去除。因其电离后产生的电子平均能量在10ev ，适当控制反应条件可以实现一般情况下难以实现或速度很慢的化学反应变得十分快速。作为环境污染处理领域中的一项具有极强优势的高新技术，等离子体受到了国内外化工废气治理方面的高度评价。
低温等离子体技术在环境工程中的应用：
随着工业经济的发展，石油、制药、油漆、印刷和涂料等行业产生的挥发性有机废气也日渐增多。这些废气不仅会在大气中停留较长的时间，还会扩散和漂移到较远的地方，给环境带来严重的污染。这些废气吸入人体，直接对人体的健康产生极大的危害，工业废气的无控制排放使全球性的大气环境日益恶化。因此选择一种经济、可行性强的处理方法势在必行。低温等离子废气处理设备在此情况下应运而生。
降解挥发性有机污染物(VOCs)传统的处理方法如吸收、吸附、冷凝和燃烧等，对于低浓度的VOCs很难实现，利用低温等离子体处理VOCs可以不受上述条件的限制，具有很大的优势。但由于等离子体是一门包含放电物理学、放电化学、化学反应工程学等基础学科之上的交叉学科。因此, 目前能成熟的掌握该技术的单位非常的少。大部分宣传采用低温等离子技术处理废气的宣传都不是真正意义上的低温等离子废气处理技术或根本达不到所要求的处理效率。
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