等离子是继固态、液态、气态之后的物质第四态。低温等离子体是当外加电压达到气体的放电电压时，气体被击穿，产生包括电子、各种离子、原子和自由基在内的混合体。放电过程中虽然电子温度很高，但重粒子温度很低，整个体系呈现低温状态，所以也称为低温等离子体。
等离子废气处理设备是电子、化学、催化等综合作用下的电化学过程，是一种干法净化过程，是一种全新的净化过程，是一种全新的技术创新。是依靠等离子体在瞬间产生的强大电场能量电离、裂解有害气体的化学键能，从而破坏废气分子结构，达到净化目的。具体解释为：低温等离子体降解污染物是在外加电场的作用下对分子进行分解，使污染物分子在极短的时间发生分解，同时产生的大量OH、HO2、O等活性自由基和氧化性极强的O3，与有害气体分子发生化学反应，以达到降解污染物的目的。
能高效去除挥发性有机污染物，以及各种恶臭味，除臭效率可达98%以上，对于长期弥漫、积累的恶臭、异味，24小时内即可祛除，并且具有强力杀灭空气中细菌、病毒等各种微生物能力，而且具有明显的防霉作用。运行过程无需添加任何添加剂，不产生废水、废渣，不导致二次污染。
该技术可广泛应用于石油化工、垃圾焚烧、制药、食品、污水处理厂、涂料、皮革加工、感光材料、汽车制造等诸多行业有机废气的治理以及采用其它方法很难解决的废气的治理。
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