无尘室(Clean Room),亦称为无尘室或清净室。它是污染控制的基础。控制空气悬浮微粒浓度,从而达到适当的微粒洁净度级别。无尘室是指将一定空间范围内之空气中的微粒子、有害空气、细菌等之污染物排除,并将室内之温度、洁净度、室内压力、气流速度与气流分布、噪音振动及照明、静电控制在某一需求范围内,而分子中是缺一不可的),否则将无法构成一完整且品质良好的无尘室:
 
⑴天花板系统
 
包括吊杆(Ceiling rod)、纲梁(I-Beam或U-Beam)、天花板格子梁(Ceiling grid或Ceilingframe)。
 
⑵空调系统
 
包括空气舱、过滤器系统、风车等。
 
⑶隔墙板(Partitional wall)
 
包括窗户、门。
 
⑷地板
 
包括高架地板或防静电地板、以及环氧自流平及滚涂地面。
 
⑸照明器具
 
包括日光灯、黄色灯管等。
 
⑹无尘室之建筑主体构造
 
一般是用钢筋或骨水泥,但无论是何种构造,必须满足如下之条件:
 
A.不会因温度变化与振动而发生裂痕;
 
B.不易产生微尘粒子,且很难附着粒子;
 
C.吸湿性小;
 
D.为了维持室内之湿度条件,热绝缘性要高;
洁净技术在近20年发展迅速,各种规模、不同等级的无尘室在电子、精密机械、航天、医疗、食品、化妆品、生物制药等行业发挥着日益重要的作用,为提高产品质量、开发高新产品做出了重要贡献。无尘室如果设计是正确、合理的,施工建造是高质量的,但在运行维护管理中不科学、不严格、必将使无尘室的空气洁净度逐渐下降,造成实际生产环境中的多项指标偏离规定要求,从而产品质量下降,甚至不合格。
制粒径的微粒数;在
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