准分子激光气体
准分子激光气体在准分子激光器全球的医疗、半导体、光纤、平板显示、材料研究等高端行业得到广泛的应用,但作为专业的准分子激光气体的重要厂商,我们同时也发现在准分子激光器的使用上,还存在着一些隐忧,笔者想通过这篇文章,以引起相关操作人员的重视。
准分子激光气体的主要成分:
氟化氩(ArF) 193 nm :F2、Ar、He、Ne;
氟化氪(KrF) 248 nm :F2、Ar、He、Ne;
氯化氙(XeCl)308 nm :HCl、H2、Xe、Ne
氟化氙(XeF) 351 nm:F2、Xe、He、Ne
显而易见,准分子激光气体成份中,Ar、He、Ne、Kr、Xe都是无色、无味、无毒、不可燃的惰性稀有气体,除非大量释放到密闭空间会引起窒息外,对人体的危害是有限的,排除惰性稀有气体的危害最主要的做法还是通风,增强室内空气的对流。
除了稀有气体之外,准分子激光气中的F2是我们采取防范措施的重中之重。很多情况下,准分子激光气体都是以预混的形式进行供应,这些预混气的F2浓度都在1%以下,但足以对人体健康构成威胁,尤其是一些工业和科研应用的准分子激光气,使用的是5%F2+95%He,这类型的气体对人体的危害更为严重。
氟气,化学式F2,是一种淡黄色、极具腐蚀性的双原子分子气体,密度(标准状态下):1.554kg/m3 比空气大。有特殊气味,吸入感觉干燥。
准分子激光气体
广东华特气体股份有限公司(原名:佛山市华特气体有限公司)位于珠三角腹地佛山市南海区,创建于1999年,公司以广东佛山为产品研发基地,分别在广东、江西、浙江、陕西、湖北、湖南、香港等地设立了十余家全资子公司
公司从事气体及气体设备的研发和生产,气体产品覆盖普通工业气体、电子工业用气体、电光源气体、超高纯气体、标准气体、医用气体、食品工业用气体等十几个系列共200多个品种,并不断研发新产品满足市场需求。生产低温绝热气瓶、汽化器、LNG应急撬等气体设备,安装超高纯气体及工业气体应用配套设备等。为用户提供气体应用一体化解决方案。
推荐产品:高纯二氧化碳,标准气体,氪氖氙混合气,准分子机会气体,环氧乙烷
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