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Pfeiffer 分子泵 HiPace 1500
上海伯东销售维修德国普发涡轮分子泵 Pfeiffer HiPace 1500, 抽速可达 1450 l/s 的高性能涡轮分子泵. 对各种气体均有高抽吸能力, 高工艺适用性, 防止进入颗粒. 集成驱动电路, 适用于工业环境, 通过保护等级 IP54. 带有气体密封阀 24 V DC 的集成型气体密封系统.
涡轮分子泵 HiPace 1500 特性
对各种气体的高抽吸能力: 不论是小分子量气体 (H2, He) 和大分子量气体 (Ar, CF4) 都有很高的抽速.
高工艺适用性, 防止进入颗粒, 高气流量
分子泵获得 SEMI S2, UL, CSA, TüV 认证
防护等级 IP 54, 符合工业环境应用要求
分子泵安装角度可选 0-90° 或 90-180°
提供抗腐蚀型号
带节流阀和阀门的集成净化气体系统
上海伯东德国 Pfeiffer 涡轮分子泵 HiPace 1500 适用于半导体, 镀膜, 工业和研发行业.
若您需要进一步的了解分子泵详细信息, 请联络上海伯东邓女士，分机13 |
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