晶圆盒垫纸是在晶圆盒内部用于保护和固定晶圆的一种特殊纸张材料。它的作用主要有以下几个方面：
1.防止晶圆受到磨损：晶圆盒垫纸的表面比较光滑，可以减少晶圆之间的相互磨损，保护晶圆表面的平整度和光洁度。
2.防止晶圆受到振动：在运输过程中，晶圆盒垫纸可以起到缓冲和阻尼的作用，减少晶圆在运输过程中发生的震动和碰撞。
3.固定晶圆位置：晶圆盒垫纸可以让晶圆稳定地固定在晶圆盒中，避免晶圆在运输和存储中的位置发生变化。
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