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公 司: 青岛晨立电子有限公司
发布时间:2024年10月23日
有 效 期:2025年04月24日
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姜经理 先生 (销售)
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电  话: 0532-88533525
传  真: 0532-67720618
手  机: 13869885308
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公司主页: http://chenlidianzi.qy6.com.cn(加入收藏)
公 司:青岛晨立电子有限公司

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详细说明

    一、设备结构:
1、操作方式:左(右)手操作方式
2、硅片尺寸:圆形6寸片
3、工艺布局:满足客户工艺要求


4、自动化程度:工控机控制系统自动控制工艺流程
5、送取片方式:手动进出舟。
6、外形:主机1台,主机架为卧式两管。
二、主要技术参数:
1、加热炉管有效口径:满足6英寸硅片。可向下兼容5寸和4寸硅片。
2、工作温度范围:上管:600~1400℃
下管:200~500℃
3、恒温区长度及精度:600mm,
上管:800-1400℃.±0.2℃/24h
下管:200-500℃.±0.2℃/24h
4、控制方式:由工控机统一管理工艺
5、气路设置:每管两路气体:氮气100L/min.氩气100L/min。均采用MFC自动控制流量大小。


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