一、半导体检测显微镜仪器的主要用途和特点
DMM-660系列研究型半导体检测显微镜（大平台金相显微镜）配有大移动范围的载物台、落射照明器、平场消色差物镜、大视野目镜，图像清晰、衬度好，同时配有偏光装置，是金属学、矿物学、精密工程学、电子学等研究的理想仪器。适用于学校、科研、工厂等部门使用。
DMM-660C研究型半导体检测显微镜（大平台三目正置金相显微镜）是将精锐的光学显微镜技术、先进的光电转换技术、尖端的计算机成像技术完美地结合在一起而开发研制成功的一项高科技产品。既可人工观察金相图像,又可以在计算机上很方便地适时观察金相图像，并以随时捕捉下来,从而对金相图谱进行分析,评级等,还可以保存或打印出高像素金相照片。http://www.shkon.com.cn/produce/metalmicro.htm
二、半导体检测显微镜仪器的主要技术指标
组件及规格
目镜 大视野 WF10X(Φ18mm)
WF20X(Φ8.5mm)
平场分划 10X(0.10mm/格值)
物镜 平场消色差
（无盖玻片） 放大倍数/数值孔径 工作距离
PL5X/0.12 18.3
PLL10X/0.25 8.9
PLL20X/0.40 8.7
PLL40X/0.60（弹簧） 3.7
PL50X/0.70（弹簧） 2.02
PL80X/0.80（弹簧） 0.96
目镜筒 三目镜 转轴式，倾斜30度，包括检偏振片
仪器主体 粗调、微调手轮，微调格值为0.002MM（底座及支架）
偏光装置 可插入式起偏振片,垂直照明装置,能进行一般金相分析、微粒分析测试，还能对不透明物体进行分析、观察。
载物台 尺寸：274 X274mm 有快速移动装置，移动范围尺寸：203 X 203mm
调焦机构 同轴粗微动调焦机构, 调焦范围15mm 微动格值2μm
照明系统 落射照明 6V 20W ，卤素灯，亮度可调带起偏振片落射照明 6V 20W ，卤素灯，亮度可调
滤片组 蓝、黄、绿、磨砂
转换器 滚珠内定位内弯,五孔转换 |
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