主要用于镀制增透膜、带通膜和截止膜等各种膜系，能够实现100层膜的超大型膜系镀膜，也能满足在树脂镜片上镀制各种颜色的增透膜以及在太阳镜片上镀制红、黄、蓝、绿等颜色的反光膜，还适用于装饰品的镀膜，如七彩等颜色。
结构特点
1、配置电子束蒸发及电阻蒸发系统；
2、配置超大坩埚电子枪，整个蒸发过程中膜料表面平整，蒸发分布均匀；
3、配置石英晶体膜厚控制仪可实现成膜速度和镀膜过程的自动控制；
4、配置大功率离子源，膜厚质量好；
5、总体结构设计合理，更符合工艺的要求，真空系统PLC自动控制，操作方便。
光学镀膜设备主要技术参数
型号
ZS、ZZS-600
ZS、ZZS-800
ZS、ZZS-1000
ZS、ZZS-1200
ZS、ZZS-1380
结构形式
箱式前开门后置抽气系统
真空室
（宽×深×高）mm
650×600×700
800×800×800
1000×1000×1200
ф1200×1200
ф1380×1250
极限压力
5×10-4Pa
6.7×10-4Pa
恢复真空时间
从1×105Pa抽至5×10-3Pa ≤ 20min
电
子
束
蒸
发
源
270Oe型枪
加速电压(KV) 6,10
数量（套）
1
1,根据用户需要可安装2套
坩埚容积
20ml×4槽
22ml×4槽
功率(kW)
6
10
电
阻
蒸
发
源
电阻蒸源
电压（V）5,10
功率（kW）
2.5
2×2.5
2×5
水冷电极数量
2 对（交替蒸发）
2 对（同时蒸发）
工件架类型及尺
（mm）
拱型夹具
ф580
拱型夹具ф740,
星型夹具ф420×3
任选一种
拱型夹具ф950,
星型夹具ф650×3
任选一种
拱型夹具
ф1100
拱型夹具
ф1250
烘
烤
功率(kW)
4.5
9
13.5
温度℃
350 数显自动控温
离子
轰击
电压(V)
3000
电流(mA)
300
真空系统配置
KT-400扩散泵2X-70,2X-4
机械泵
KT-600扩散泵
ZJ-600 罗茨泵
2X-70，2X-15
机械泵
KT-600扩散泵
ZJ-600罗茨泵
H-150，2X-15
机械泵
KT-600 扩散泵
ZJ-600罗茨泵
H-150,2X-15
机械泵
KT-800扩散泵
ZJ-600罗茨泵
H-150,2X-15
机械泵
光学膜控控仪
垂真光路,透、反射控制，波长400nm-700nm
水冷系统
水压(kpa)
约2.5×102
水温(℃)
＜ 25
压缩空气（kpa）
(4-6)×102
总功率（kW）
26
36
56
60
65 |
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