ID-3M 可采用2D/FULL3D进行高精度测定
【特点】
采用彩色高速相机和多种类照明,基本性能大幅度提高
●多用途
可进行2D/3D测定,因为可以以PIN为单位来指顶3D的测定区域,因此可以根据目的使用各种各样的程序
●高性价比
根据并用2D/3D的事，一边持(有)真正的3D图解测量机能一边实现了2D测量机级的高性价比。
●彩色多照明
上面和侧面采用的可变化1677万中颜色的彩色LED光源,根据基板的种类,选择最适合的颜色,进行准确的测定。
●丰富的周边程序
由于专用应用软件支持从被要求的数据的作成到测量结果的验证。
【规格】
项目 规格
测定项目 面积,偏移量,高度,体积(3D图形)
照相机 彩色数字照相机
测定分辨率 8.5μm、17μm（固定、订货时指定）
视野 9.75×7.5mm（8.5μm分辨率时）
19.5×15mm（17μm分辨率时）
照相方式 上、横、2方向 1677万色可变可能,多彩色LED可以从上面和侧面2个方向变化1600万颜色
激光 半导体激光(细长形状)
测定速度 2D测定时：0.35sec/视野 835mm2/sec（17μm分辨率时）
3D测定时：20mm/sec MAX(X,Y分辨率时)
测定基板外形尺寸 50×50mm～250×330mm
基板厚度 0.5～3.2mm（搬送台可）
有效范围 基板尺寸-3mm
相反范围 ±2.5mm
装置外形尺寸 974×851×1330mm
本体重量 约400kg
电源 AC100V 2KVA以下
空气 0.5MPa |
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