供应SSPH系列高功率脉冲磁控溅射电源

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供应SSPH系列高功率脉冲磁控溅射电源

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公　司：遵化市三石电子技术研究所

发布时间：2018年06月12日

有效期：2018年12月12日

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详细说明

SSPH系列高功率脉冲磁控溅射电源技术规格
SSPH系列高功率脉冲磁控溅射（HPPMS）电源工作于二级高频变换模式，直流脉冲输出。电源由供电及脉冲调制两部分构成，单个脉冲可输出2-8兆瓦的瞬时功率。高功率密度的阴极材料将产生高的金属离化率，并且不含靶材颗粒。电源适用于金属工具膜层及装饰膜层制备

电源功率范围 12-25KW
输入电源 AC380V三相四线制AC50-60HZ±10％
输出方式直流窄脉冲
输出电压空载1000-2000V
输出电流 1200A 2400A 3600A 4800A
灭弧时间 ≤3uS
脉冲频率 *高500HZ
负载持续率 100%
冷却方式风冷
使用环境环境温度 0-40℃
环境湿度相对湿度≤85％
空气清洁无粉尘无腐蚀性易燃性气体通风良好
说明：电源的输出功率可根据使用需要作相应调整

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