SSTH系列中频交流磁控溅射电源技术规格
SSHT系列中频磁控溅射电源工作于二级高频变换模式，交流正弦输出。中频溅射电源以两个溅射靶作为负载，两个靶交替工作，因此溅射靶一个溅射周期内一半以上的时间为反向电压截止溅射，使靶材表面积累电荷有的到充分泄放时，有利于抑制靶材弧光放电及表面中毒。SSTH系列中频交流磁控溅射电源具备独特的电弧抑制功能，有效克服电弧对膜层造成的瑕疵，预警系统实时显示电源工作状态，以便及时排除潜在问题。电源特别适用于大功率反应溅射膜层，如Low-E玻璃生产线及金属非金属卷绕镀膜使用
电源功率范围 30-120KW
输入电源 AC380V三相四线制AC50-60HZ±10％
输出方式 准正弦波
输出频率 40KHZ
输出电压 空载1100V[有效值]
输出特性 横流 恒压 恒功率
灭弧时间 ≤3uS
输出电流稳定率 0.25％
负载持续率 100%
冷却方式 水冷
使用环境 环境温度 0-40℃
环境湿度 相对湿度≤85％
空气清洁 无粉尘 无腐蚀性易燃性气体 通风良好
冷却水 清洁 不含矿物质及其他可溶性物质
水温 20-30℃
压力 0.15±0.05Mpa
说明：电源的输出数据可根据使用需要作相应调整 |
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