供应SS-T系列中频交流磁控溅射电源

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供应SS-T系列中频交流磁控溅射电源

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公　司：遵化市三石电子技术研究所

发布时间：2018年06月12日

有效期：2018年12月12日

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详细说明

SS-T系列中频交流磁控溅射电源技术规格
SS-T系列中频磁控溅射电源工作于二级高频变换模式，交流正弦输出。电源输出频率设为典型的40KHZ。中频溅射电源以两个溅射靶作为负载，两个靶交替工作，因此溅射靶一个溅射周期内一半以上的时间为反向电压截止溅射，使靶材表面积累电荷有的到充分泄放时，有利于抑制靶材弧光放电及表面中毒，特别适用于反应膜层环境使用。
电源功率范围 10-120KW
输入电源 AC380V三相四线制50-60HZ±10％
输出方式交流正弦波
输出频率 40KHz
输出电压空载1000V[有效值]
灭弧时间 ≤3uS
输出电流稳定率 0.25％
冷却方式 2-10KW风冷 10-120KW水冷
使用环境环境温度 0-40℃
环境湿度相对湿度≤85％
空气清洁无粉尘无腐蚀性易燃性气体通风良好
冷却水清洁不含矿物质及其他可溶性物质
水温 20-30℃
压力 0.15±0.05Mpa
说明：电源的输出特性可根据使用需要作相应调整

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