供应SS-II系列直流磁控溅射电源

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供应SS-II系列直流磁控溅射电源

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公　司：遵化市三石电子技术研究所

发布时间：2018年06月12日

有效期：2018年12月12日

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详细说明

SS-II系列直流磁控溅射电源技术规格
SS-II系列磁控溅射电源工作于高频变换模式，直流输出,电源电流调整通过改变高频变换的脉冲宽度来实现。电源具有良好的负载特性，性价比高，适用于金属及部分反应膜层环境使用。
电源功率范围 10-120KW
输入电源 AC380V三相四线制 50-60HZ±10％
输出方式直流
输出电压空载800V
灭弧时间 ≤20uS
输出电流稳定率 0.5％
冷却方式 10-60KW风冷 60-120KW水冷
使用环境环境温度 0-40℃
环境湿度相对湿度≤85％
空气清洁无粉尘无腐蚀性易燃性气体通风良好
冷却水清洁不含矿物质及其他可溶性物质
水温 20-30℃
压力 0.15±0.05Mpa
说明：电源的输出特性可根据使用需要作相应调整

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