供应真空镀膜电源（真空蒸发镀膜电源和真空溅射镀膜电源

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公　司：上海翼昇电子科技有限公司

发布时间：2015年01月09日

有效期：2015年07月11日

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刘保华先生 (销售经理)

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电　　话： 021-51036598 传　　真： 021-54490236 手　　机： 13817375566 地　　址：中国上海闵行区莘庄工业园区申北路168号邮　　编： 201108
公司主页：	http://sailingvsu.qy6.com.cn(加入收藏)

详细说明

    产品特点：
1、恒压，恒功率
2、抑制靶材弧光放电及抗短路功能, 具有极佳的负载匹配能力。
3、工艺重复性好。
4、提高成膜速度，实现高质量的溅射膜层。
技术参数

品名真空镀膜电源
型号 YS-900系列
输入相数单相或三相
电压 220/380V
频率 50Hz
输入方式 4线（含地线）
输出波形直线
功率 30KW /60KW /100KW（可定制）
电压 0—1200V（可定制）
稳定度 ≤1%
电流 0—200A（可定制）
稳定度 ≤1%
纹波及杂讯 ≤5%或≤3%
效率 ≥90%
控制功率可选择
电压恒压控制，可本地控制也可通过0-10V或4-20mA
电流可选择
保护具备缺相、过热、限压、恒功率、过压、过流、短路、超载等保护功能
冷却风冷
外型外壳
尺寸(W*D*H) 482.6mm*600mm*266.7mm（30KW）
重量 30KG（30KW）

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