型号:SC-8
   
高低温分析探针台  
特点  
-80~200℃无霜精确控温
舒适大手柄驱动CHUCK  
可以升级做射频测试  
20X~4000X 光学显微放大  
无后座力移动  
针座平台可以快速升降便于wafer取放  
   
规格  
真空吸附型Chuck 8" 不锈钢  
Chuck X-Y轴行程 8" x8"  
Chuck 旋转角度 0~360 度  
针座平台上下升降行程 6mm   通过升降杆调整  
针座平台 可以放置8个针座  
显微镜X-Y轴行程 2" x2"  
   
需求  
电力 220 VAC, 60Hz  
真空 -250 mmHg, 7 liter/min  
   
尺寸  
840mm长 x 660mm宽 x 700mm高(带显微镜)  
重 160 Kg(带显微镜)  
   
可选附件  
Chuck快速拉出装置  
显微镜倾仰装置  
激光修复
探针卡夹具  
加热台  
高低温样品台(-80-200℃)
防震桌  
显微镜暗场 / Normarski 检测  
带真空底座的活动Chuck  
光强/波长测试接口部件  
射频测试探头和线缆  
有源探头  
 低电流/电容测试
高压测试(3KV)/大电流测试(10A)  
CCD视频系统  
封装器件夹具  
PCB板夹具  
液晶热点侦测套装  
屏蔽箱  
镀金C |
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