3M
FC 3283
3M氟化液FC-3283是无色透明全氟化学品，具有良好的化学惰性、电气绝缘性能、热传导性和独特的第表面张力广泛应用于半导体制造厂作为热传导介质。其液体温度范围为-50°C 至128°C，主要应用于蚀刻设备、离子注入设备、测试设备及其他设备。因为FC-3283是单一组分，所以其成分不好出现降解或者过期。FC-3283沸点高，其随时间的挥发也比较少。
FC 40
氟化液FC-40是无色透明全氟化学品，具有良好的化学惰性、电气绝缘性能、热传导性和独特的第表面张力广泛应用于半导体制造厂作为热传导介质。其液体温度范围为-57°C 至 155°C，主要应用于蚀刻设备、离子注入设备、测试设备及其他设备。因为FC-40是单一组分，所以其成分不好出现降解或者过期。FC-40沸点高，其随时间的挥发也比较少。
HFE 7200
HFE-7200
●主要成分：甲氧基-九氟代丁烷（C4F9OCH3）含量为99.5％，非挥发组分小于2.0pmm，
●特点：无色、无味、无毒、不燃烧，ODP值为零；表面张力低、黏度小、蒸发潜热小。
●用途：特殊用途的溶剂、清洗剂、漂洗剂、无水流体、去焊剂和热传递介质，主要用于电子仪表和激光盘片的清洗，颗粒杂物的去除，光学系统及精密场合下清洗。
●优点：由于性能最接近CFCs，可使用原有清洗设备，不需要增加设备投资，也不需要对工艺做大的改变。绝对环保，安全！
姚强
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缪星鑫
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