我公司能够为各种扩散炉提供完整的全系列高质量加热炉体，技术性能指标不低于原设备用炉体。以我公司的加热体专有技术制造的炉体将提供更宽的工艺温度范围及更高的恒温区精度以及更长的使用寿命。
技术特点：
优质加热丝：KANTHAL‘APM A-1 AF D及HRE…
绝热材料：PMF T2 T3…晶体纤维等
绝缘子：高纯刚玉
端口过渡环：氧化铝氧化锆等真空成型。
用途：半导体扩散炉 烧结炉等
◆满足4"-8"立式、卧式晶圆扩散炉"
◆完整的产品系列，满足该产品的
◆进口替代先进的材料及制造技术
◆质量技术指标优异
◆使用温度：室温-1300℃±0.5℃
◆高温型、普通型、快速升降温型
卧式炉体 立式炉体
炉体型号 JH300I-XX JH300II-XX JV500I-XX JV500H-XX
炉体口径 Φ100～Φ300 Φ100～Φ300 Φ200～Φ500 Φ200～Φ500
工作温度 200℃～1200℃ 400℃～1300℃ 200℃～1200℃ 400℃～1300℃
壳体 不锈钢薄板 不锈钢薄板 不锈钢薄板 不锈钢薄板
加热丝 Fe-Cr-Al-Y 高温Fe-Cr-Al-Y Fe-Cr-Al-Y 高温Fe-Cr-Al-Y
绝热材料 氧化铝纤维 高温晶体纤维 氧化铝纤维 高温晶体纤维
端口 氧化铝真空成型 氧化铝真空成型 氧化铝真空成型 氧化铝真空成型
按客户的炉型要求，可内衬高纯刚玉管或SiC管
供货类型：
炉体按结构形式分为：卧式炉体、立式炉体
按工艺温度分为：高温炉体、低温炉体以及快速升降温炉体
提供完整的相关配件
■热偶系列
■真空成型过渡环、端口
■按客户要求的各种特异炉体
For Diffusion Oxidation Lpcvd Pecvd Procss
欢迎索取相应详尽的技术资料及共研相应项目的解决方案。 |
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