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专业生产：四氟化碳四氟甲烷
四氟化碳（CF4）
项目
指标纯度%
四氟化碳（CF4）
99.999%
99.9997%
99.99994
杂质含量
氮气
﹤5ppm
﹤1ppm
氧气
﹤2ppm
﹤0.5ppm
﹤100ppb
氩气
-
-
﹤20ppb
氢气
-
﹤0.5ppm
﹤100ppb
总烃
﹤1ppm
﹤0.1ppm
﹤50ppb
一氧化碳
﹤1ppm
﹤0.1ppm
﹤50ppb
二氧化碳
﹤1ppm
﹤0.25ppm
﹤100ppb
水
﹤2ppm
﹤1ppm
﹤200ppb
主要用途:
在常温下,四氟化碳是无色、无臭、不燃的可压缩性气体，挥发性较高，是*稳定的有机化合物之一，在900℃时，不与铜、镍、钨、钼反应，仅在碳弧温度下缓慢分解，微溶于水，在25℃及0.1Mpa下其溶解度为0.0015%(重量比),然而与可燃性气体燃烧时,会分解产生有毒氟化物。
四氟化碳是目前微电子工业中用量*大的等离子蚀刻气体,其高纯气及四氟化碳高纯气配高纯氧气的混合气,可广泛应用于硅、二氧化硅、氮化硅、磷硅玻璃及钨等薄膜材料的蚀刻，在电子器件表面清洗、太阳能电池的生产、激光技术、气相绝缘、低温制冷、泄漏检验剂、控制宇宙火箭姿态、印刷电路生产中的去污剂等方面也大量使用。
四氟化碳参数说明http://www.kdgc.cn/GetKnowledge/zh-CN/p288.aspx
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