产品特点
*大工作压力达3MPa
控制精确,操作简单
BA级洁净管道连接
使用气体种类多(可达30多种)
*高工作温度5~50℃。
国际主流通用管道连接方式。密封更可靠,寿命更长
阀门与介质接触部分的零件材料为不锈钢、聚四氟乙烯。
高精度控制多种气体混合比例,实现不同气体比要求
安装方便。
系统参数
气体传输:4-8种气体 , Swagelok卡套连接气体类型:30种进气压力:0.1-0.4MPA
控制阀动作型式:常闭式
响应时间(sec):1S
工作压差:0.05~0.5MPA
*大耐压:3MPA控制原理:质量流量控制,每个出口单独控制流量:50SCCM,100SCCM,500SCCM可定做
采用温度变化对应于质量流量的原理,可以对不同的气体进行流量量测及控制,并且不会受到温度及压力变化的影响其他流速可选择 ,其他气体可选择准确性: 优于1%数据:输出的数据转换为标准状态下的质量( 1个大气压,0度)
标准状态规定为:
标准温度………………0℃(273.15K)
标准压强………………101325Pa
控制显示方式:电脑操作
精确控制两种不同气体流量大小,使用其按不同比例(量)均匀混合,并精确控制混合气体流量大小。
可通过电脑软件控制及采集流量信号
说明
气体为特殊气体,对相关使用产品均有特殊要求。 |
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