供应钛靶

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公　司：宝鸡市鹰翔钛业有限公司

发布时间：2015年09月11日

有效期：2016年03月12日

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企业信息

刘引祥先生 (总经理)

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电　　话： 0917-3373345 传　　真： 0917-3373345 手　　机： 13609174372 地　　址：中国陕西宝鸡市宝鸡市渭滨区马营镇旭光工业园邮　　编： 721013
公司主页：	http://yxty6688.qy6.com.cn(加入收藏)

详细说明

靶材的主要性能要求:
纯度
纯度是靶材的主要性能指标之一，因为靶材的纯度对薄膜的性能影响很大。不过在实际应用中，对靶材的纯度要求也不尽相同。
杂质含量
靶材固体中的杂质和气孔中的氧气和水气是沉积薄膜的主要污染源。不同用途的靶材对不同杂质含量的要求也不同。
密度
为了减少靶材固体中的气孔，提高溅射薄膜的性能，通常要求靶材具有较高的密度。靶材的密度不仅影响溅射速率，还影响着薄膜的电学和光学性能。靶材密度越高，薄膜的性能越好。此外，提高靶材的密度和强度使靶材能更好地承受溅射过程中的热应力。密度也是靶材的关键性能指标之一。
晶粒尺寸及晶粒尺寸分布
通常靶材为多晶结构，晶粒大小可由微米到毫米量级。对于同一种靶材，晶粒细小的靶的溅射速率比晶粒粗大的靶的溅射速率快；而晶粒尺寸相差较小(分布均匀)的靶溅射沉积的薄膜的厚度分布更均匀。

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