FF型复合分子泵
安捷伦涡轮分子泵
TY系列复合分子泵
性能优异：整体型复合转子，强度高、性能稳定，洁净无油；可靠性高：成熟的轴系结构和优化的减震方案；洁净无油：采用脂润滑精密陶瓷轴承，无油蒸汽污染；任意角度：可任意角度安装，便于系统集成；易于集成：体积小、重量轻、任意角度安装；使用方便：配件齐全，可提供灵活的客户定制方案；水、电、气等接口连接简单方便，客户可以根据环境和使用条件自主选择风冷或水冷；应用广泛：适用质谱分析、表面科学、激光、薄膜沉积、镀膜、离子刻蚀、核物理研究实验室科研等领域
安捷伦涡轮分子泵经过优化设计，可以在低压强内实现高压缩比，在大抽气量和高前级压强是实现*大的压差。该泵为无油、无污染型，并且具有非常低的故障率，可以在任何角度工作而不对材料施加应力。典型的 MTTF 超过 250000 小时。涡轮分子泵的应用范围包括高能物理和研究、纳米技术、质谱技术、工业真空加工和半导体，并可用作扫描电子显微镜 (SEM) 的专用泵。
功耗更低、性能更佳；通过减少发热而节能，并提高可靠性为风冷而优化的冷却翅片；通过降低工作温度进一步提高可靠性；具有优化的几何尺寸；功率要求低，前级耐压高及可承受高气载；可拆卸的前级连接器；可连接各种前级泵；冷却方式灵活（风冷或水冷）。
TY系列复合分子泵有涡轮分子泵和盘式牵引泵组合而成，它同时具有涡轮分子泵分子流时抽速大、压缩比高，牵引泵高压强时抽速大、压缩比高的特点，扩展了分子泵的应用范围。
复合分子泵对被抽气体无选择性、无记忆性效因，由于对分子量大的气体有很高的压缩比，因此该泵不需要冷阱和油挡板即可获得清洁的高真空和超高真空。其广泛应用于光伏、照明、宇航、半导体、能源、军工、激光、家电、材料、汽车等真空技术的各个领域。 |
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