AE MDX 10K直流电源

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AE MDX 10K直流电源

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公　司：深圳市昊光机电科技应用有限公司

发布时间：2015年10月12日

有效期：2016年04月12日

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详细说明

MDX 系列10 kW电源在真空环境中经久耐用，其小巧的尺寸使其成为实验室系统的理想解决方案。它们最常用作直流磁控溅射电源；在该领域，二者精密的调节性能、一流的灭弧功能和较低的存储输出能量使之成为业界领先产品。它们还在射频溅射和蚀刻系统中被用作精密调节的偏压电源。
AE MDX直流磁控溅射电源：
Equipment Details: DC Magnetron Sputtering Power Supply
Used as DC magnetron sputtering drives where regulation, superior arc quenching and low output energy are required
Standard Z
Power Output: 10 kW
Regulation: 0.25 percent in all modes, power, current, voltage
Remote panel controller
208V, 3 Ph, 50/60 Hz, 38A.

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