供应全自动晶圆激光打标系统

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供应全自动晶圆激光打标系统

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公　司：深圳市韵腾激光科技有限公司

发布时间：2014年07月15日

有效期：2015年01月11日

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邓庆琳女士 (销售)

联系时，请说是在企业录看到的，谢谢！

电　　话： 0755-27840048-8036 传　　真： 0755-82591381 手　　机： 13714180480 地　　址：中国广东深圳市宝安区福永街道桥头社区金港科技园B栋2楼邮　　编： 518103
公司主页：	http://intelaser.qy6.com.cn(加入收藏)

详细说明

产品概述

•高产量：采用美国进口的 532nm DPSS激光工艺配合专用上下料的机械手装置，标记速度快、质量高；

•器件优质率：100％，可正面或反面高精度标刻；

•环保高效：在半导体制造过程中，实现了无尘的清洁打标。
•
•加工质量高，无表面裂痕、标记字体美观大方、清晰度高；
•
•可靠性高：激光器采用定制化设计，用户免调试、免维护；；
•
•加工方式多样化：砷化镓、硅晶圆、蓝宝石或其它材料的芯片标刻，可加工各种尺寸晶圆；

1、XY轴定位精度±0.004 mm ；
2、打标精准可靠，字体一致性好；

3、打标清晰明了，边缘质量良好；

4、标记线宽最小15um，文字高度最小15um；

5、可实现硅晶圆、玻璃晶圆、蓝宝石、砷化镓等多种高分子材料标刻；

内容

精度范围

打标的定位精度

±3um

最小标刻文本线宽

15um

最小标刻文本的高度

15um

进行金属（铜合金）雕刻

YES

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