上海茂竺（上海茂索）的特气设备有特气柜(Gas Cabinet或称钢瓶柜、气瓶柜)，气体流量控制箱(Gas Box by MFC),气体配比箱(Gas Box by Flow Meter)，阀门箱（VMB）,阀门盘（VMP），气体侦测器（Gas Detector），废气处理器(Scrubber)以及化学品供应机台（CDU、TEE-BOX、SAMPLING BOX）。
上海茂竺（上海茂索）公司还提供特气设备的安装服务、特气系统的二次配管及化学品供应机台的安装、化学品供应管道的配管等高洁净要求的业务。
从日本、欧美等发达国家进口的电子级材料，如EP级 （BA级、AP级）不锈钢管道（Tube，SS316L,SS316,SS304,或称电子级管道、超高纯管道），隔膜阀（Diaphragm Valve）, 减压阀（Regulater，或称调压阀）,过滤器（filter，0.003μm），fitting（Gland ,Tee …）等等超高纯特殊气体系统中必需采用的各类零部件。英制尺寸标准。
公司标签：特气，钢瓶柜，阀门，电子级，电子特气，隔膜阀，调压阀，EP，BA，不锈钢,洁净管道，316L，304，过滤器，高压金属软管，压力表，钢瓶接头，真空系统，MOCVD，PECVD，钢瓶柜，超高纯，特殊气体，太阳能电池，LED,SEMICON,半导体，
详细规格可以来电/电邮咨询。
公司介绍：上海茂竺（上海茂索）高端技术支持服务相辅并进的快速发展模式。为半导体、医药及生物芯片等行业提供厂务所必需的材料部件（隔膜阀、EP（BA）管道等）以及特殊气体设备[例如特气柜(GAS CABINET) 、阀门箱（VMB）]。
上海茂竺（上海茂索）主要服务于以下行业：
高亮度发光二极管外延HB-LED： 主要工艺设备 MOCVD（AIXTRON,Thomas Swan，VECCO）
有机发光二极管OLED: PECVD, 溅射台，蒸发台OLED台，OTFT台，
太阳能电池：主要工艺设备 PECVD
硅外延：外延炉
微机电系统MEMS：主要工艺设备RIE，LPCVD，ICP，等离子清洗机，溅射机等
医药及生物芯片：
平面及等离子显示器：
化工：
其他材料薄膜研究：主要工艺设备APCVD，LPCVD，MBE ，HVPE.
特气设备及洁净部件（特气钢瓶柜、阀门箱）主要用于控制超高纯特殊气体，电子特气包括氢气H2、氮气N2、氧气O2、 氩气Ar、磷烷PH3、砷烷AsH3、硅烷SiH4、氨气NH3、三氯一氢硅烷TCS、 氯气CL2、氯化氢气体HCL、三氯化硼BCL3、三甲基硼TMB、二氯二氢硅烷DCS等等多种气体或液化气体。 |
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