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国内厂家销售半导体行业用高纯电子级正硅酸四乙酯TEOS

详细说明

    电子级正硅酸四乙酯TEOS

名称 正硅酸四乙酯(TEOS)

化学式 C8H20O4Si

相对分子量 208.33

CAS号 78-10-4

理化性质 无色透明液体,熔点-77℃,沸点168.5℃,密度0.9346g/ml。在空气中较稳定;微溶于水,在纯水中水解缓慢;在酸或碱的存在下能加速水解作用。

主要用途

主要用于晶圆制造过程中的化学气相沉积(CVD)制程,用于生成二氧化硅和氮化硅薄膜。是半导体、分立器件、微机电系统(MEMS)制造所需的电子化学品。

 
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