|
深圳市旺达康科技有限公司
联系人:宋华
先生 (业务) |
电 话:0755-82382356 |
手 机:15919406738 |
|
|
|
|
国内厂家销售半导体行业用高纯电子级正硅酸四乙酯TEOS |
电子级正硅酸四乙酯TEOS
名称 正硅酸四乙酯(TEOS)
化学式 C8H20O4Si
相对分子量 208.33
CAS号 78-10-4
理化性质 无色透明液体,熔点-77℃,沸点168.5℃,密度0.9346g/ml。在空气中较稳定;微溶于水,在纯水中水解缓慢;在酸或碱的存在下能加速水解作用。
主要用途
主要用于晶圆制造过程中的化学气相沉积(CVD)制程,用于生成二氧化硅和氮化硅薄膜。是半导体、分立器件、微机电系统(MEMS)制造所需的电子化学品。 |
|
|
深圳市旺达康科技有限公司 |
|
电 话: |
0755-82382356 |
传 真: |
0755-25841853 |
移动电话: |
15919406738 |
在线联系: |
|
公司地址: |
中国广东深圳市福田区八岭工业区八卦四路先科机电大厦1325 |
邮 编: |
518000 |
公司主页: |
http://leadmat.qy6.com.cn(加入收藏) |
|
|
|
|
|
|