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深圳市旺达康科技有限公司
联系人:宋华
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电 话:0755-82382356 |
手 机:15919406738 |
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国内厂家销售半导体行业用高纯电子级硼酸三甲酯TM |
电子级硼酸三甲酯TMB
一、分子式: B(OCH3)3
二、分子量:103.92
三、理化性质
无色液体,无明显气味,性质稳定。熔点-29℃,密度0.915g/ml,沸点67~68℃。易燃,
与氧化剂能发生强烈反应。水解生成甲醇和硼酸,能与有机溶剂混溶。
四、用途
主要用于晶圆制造过程中化学气相沉积(CVD)生成硼磷硅酸玻璃(BPSG)。是半导体、
分立器件、微机电系统(MEMS)制造所需的重要电子化学品。 |
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深圳市旺达康科技有限公司 |
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