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上海纳动纳米位移技术有限公司
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X、Y轴压电陶瓷扫描台-上海纳动纳米位移技术有限公司

详细说明

    产品描述

显微镜中的物镜对准通常需要一个开放的方形中心孔径,PK2L80-080U压电扫描台(带有45x45mm的中心孔)是针对此类应用而开发的,每个轴都经过机械预加载。独特的产品设计非常紧凑,在XY运动轴上的运动可达80μm(闭环),并且由于柔性机械设计而实现了无间隙的平行运动。

可以选择使用集成的SGS测量系统来克服迟滞的影响,并且PK2L80-080U定位系统可以配备电容测量系统,PK2L80-080U压电扫描台可以轻松地与其他机械定位系统结合使用。

PK2L80-080U系列非常适合从光学研究到OEM系统的各种应用。

本系列产品种类包括X、Z、XZ、XY、XYZ轴运动系统版本。请参照相关型号介绍。

产品特性

—XY位移:80μm(闭环)

—方形中孔尺寸:45x45mm

—*大承载能力:0.6Kg

—紧凑型设计

—高精度柔性导向

选配功能

—可定制转接装置及中心孔径大小

—可选PZT&Sensor连接器及线缆长度

—可选配闭环(SGS) 位置反馈系

—可选择XYZ轴版本(80μm)

应用领域

—纳米压印技术

—共聚焦显微/扫描显微

—掩模、晶圆定位

—表面测量技术

—图像处理与稳定

 
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