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上海纳动纳米位移技术有限公司
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X、Y、Z轴压电陶瓷扫描台-上海纳动纳米位移技术有限公司

详细说明

    产品描述

PK3L80-200U拥有三种不同行程运动轴产品,均采用柔性机械设计而实现了无间隙的平行运动,适用于高运动平面度和直线度的纳米定位及扫描领域。

PK3L80-200U系列非常适合从光学研究到OEM系统及科研和工业中的样本操作和定位,也适用于透射光应用。

可以选择使用集成的SGS测量系统来克服迟滞的影响,PK3L80-200U压电扫描台可以轻松地与其他机械定位系统结合使用。

本产品具有亚纳米性能。压电纳米台均可提供闭环反馈(-S)或开环(无反馈)。独特的位置传感器具有更高的线性度及重复定位精度。

压电平台可定制转接板与面包板光学平台上进行固定。压电平台可根据要求提供定制材料和真空制备版本。

产品特性

—XYZ*大位移:200x200x200μm(闭环)

—中孔尺寸:Ø35mm

—*大承载能力:0.6Kg

—超紧凑型设计

—平行运动导向结构

选配功能

—可定制转接装置

—可选PZT&Sensor连接器及线缆长度

—可选配闭环(SGS) 位置反馈系

—可定制中心孔径大小

应用领域

—扫描显微镜

—超分辨率显微镜

—掩模、晶圆定位

—干涉测量、测量技术

—显微操纵

 
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