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青岛扩散炉生产厂家 高温氧化炉

详细说明

    卧式扩散炉--扩散炉

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设备用途:用于大规模集成电路、电力电子、光 电器件、光导纤维等行业的氧化、扩散、烧结、合金等工艺。



设备特点:单元组合方式。根据工艺的不同,可以在主机的基础上配气源柜、超净工作台、悬臂推拉舟等。

主要技术指标:

★ 炉管数:1~4管

★ 配工艺管口径:Φ90~360 mm (3~12英寸)

★ 恒温区长度: 760~1000 mm±1.0℃ (300~800℃) 760~1000 mm±0.5℃(800~1280℃)

★ 单点稳定性: ±1.0℃/24h (300~800℃) ±0.5℃/24h (800~1280℃)

★ 气源路数: ≤7路,可配恒温源瓶、氢氧合成点火器

★ 气体控制: 浮子/质量流量计

★ 悬臂舟参数: 速度: 20~1000 mm/min *大行程:2000 mm 定位精度:±1 mm *大载荷:17 Kg

★ 超净工作台: 净化等级:100级(万级厂房)

噪音: ≤62dB(A)

振动: ≤3μm

晨立*新扩散炉设备新鲜出炉,技术和质量已达国际水平,受到半导体设备制造企业和半导体行业高度关注.可完全替代国外同规格高端产品满足不同工艺的要求

 
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