Granville-Phillips模块化真空计是那些不需要前面板显示和控制的应用的理想解决方案。这些紧凑、方便、可靠、节约成本的模块是将控制电子器件直接安装在规管上实现的。全金属包覆提供了坚固的外壳和高水平的抗电气噪音能力。
Granville-Phillips的Mini-Convectron模块提供从大气压到1×10-4Torr(1×10-4mbar,1×10-2Pa)跨越七个数量级的真空压力测量,有模拟量输出型、RS-485输出接口型及DeviceNet输出接口型可选,基本型带有可调的设定点继电器允许你控制真空工艺的其他功能或是实现安全互锁数显型带有明亮的三位数字显示可以实时显示现场压力测试值。带有方便的线性模拟量输出信号的版本也是可选的。
DeviceNet接口是一种网络解决方案,可以缩短真空制程布线、安装和自动化所耗费的时间,降低成本。作为一个开放式网络标准,DeviceNet为当今先进的真空系统上所使用的各种测量和控制装置提供了一种方便的连接方式。在某些行业(如半导体制造)中,DeviceNet接口为*选的网络标准。
Convectron真空规管技术
随着20多年成功地现场安装,Granville-Phillips的Convectron规管已经成为工业标准。它是具有独特变化的热传导规管,其压力测量基于传感丝的热损失率。与传统的热偶规和皮拉尼规不同,Convection规管利用了高压下对流冷却的热损失技术,这就使得精确、可重复的真空测量范围可延伸到大气压。为确保高精准度以及规管与规管的可重复性,毎个Convectron规管出厂前都是独立校准的。
现今,遍布全球的成千上百的真空工艺中使用Convectron真空规管,这使得它成为许多真空应用的明智之选。 |