APC200压力&流量控制器APC200-0O-O-I-N
APC200压流控制器基本上是为电容压力计提供一个电源(±15VDC),与之相应的压力信号连接显示器,同时使用PID排气节流阀节流阀或Self-Tuning功能将压力控制连接起来的系统,其中,使用“Self-Tuning”功能,可根据流入室中气体的量、泵抽速度、阀位中的真空压力变化,以及其他重要的参数感知压力控制系数。使用此功能作压力控制时,可以更快地达到所需的压力。内置2个过程限制继电器,可帮助用户集成在装备中。
特点
至多可以连接4个MFC的PCB卡,每张PCB由2通道(2个MFC)组成。
标准的面板安装,通讯方式I/O或RS-232远程(RS-485选项),实现所有远程控制都是可能的。
规格
阀门操作 ATV1000排气节流阀,MKS型653和253排气节流阀及其他
压力输入信号 标准0-10Vdc
输入功率要求 90-132或180-264 VAC, 50/60 Hz
设置点
可编程的
外部模拟 总共5个,可在任何组合中编程,用于压力或阀位置
(可从前面板调节或从前面板旋转RS232设定、TTL或RS232)
0-10VDC
控制器重复性 ±0.1% F.S
环境运行温度 15℃ - 45℃
输出功率 ±15 VDC ±5% @ 1.5 Amp
模拟量输出信号 0 - 10vdc用于0-100%阀门位置,0 - 10vdc用于1-100%满量程压力
尺寸 1/2机架安装:88mm 宽 x 241mm 长 x 225 高
显示 LCD(压力、位置和外部设定点读数)
显示单位 Torr, mTorr, mbar, Pascal, cmH20, inH20, mbar, kpa 标准
PID控制 标准
远程零点 标准
接口 前面板设置,模拟,TTL和RS232,(RS-485选项)
继电器输出 2个过程继电器: 24 Volts AC/DC 0.5Amp 电阻
远程控制
(打开、关闭、保持) 标准
位置控制能力 标准 |