光学等离子体真空计
OPG550光学等离子体真空计
INFICON Augent™光学等离子体真空计是一种紧凑型智能真空监测解决方案。体积小巧的Augent™集两种传感器技术于一身。进行气体类型监测时,压力测量范围为1 × 10-7至5毫巴;总压力测量范围可达1 × 10-7毫巴至大气压。Augent™自带具有保护作用的皮拉尼传感器,当压力超出20巴时可以关闭等离子体。
在1 × 10-7至5毫巴的测量范围内,该仪表可用于检测氧气、氮气、氢气或氩气等气体。
优势
•高速检漏,可进行试验箱泄漏检查
•提高生产率和产量
•使用寿命长,灯丝不易烧毁,防空气侵入
•耐过程化学腐蚀
•采用智能算法,易于集成
•结构紧凑,空间占用小
•启动快速可靠
应用范围
•试验箱泄漏检查,提供更快的RoR (上升速率)试验速度
•进行泄漏检查,以查找供气管路的内部泄漏
•实时端点控制
•气体类型和浓度控制 |