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青岛福润德微电子设备有限公司
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高纯材料提纯设备

详细说明

    高纯材料提纯设备主要满足高纯砷等新材料制造行业,对材料进行气氛保护下的烧结、升华、还原、精馏等工艺。

主要性能指标:

外型形式:卧式结构,水平炉管

工作温度:200℃—1100℃

恒温区长度:根据工艺要求

仪表控温精度:千分之三高精度

可通工艺气体:氮气、氧气、氢气、氩气等

气体控制方式:MFC或浮子流量计控制

报警系统:气体压力异常报警、断电报警、超温报警、极限超温报警

控制方式:程序控制或工控机+触摸屏控制

产品特点:

采用国内独有的开合式设计方式;

工艺降温速度快;

生产效率高;

设备维护简便。

 
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