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氧化扩散炉
详细说明
氧化扩散炉性能特点:
◆具有可编程的升、降温功能
◆采用滤波器、屏蔽板等装置,有效解决电网、磁场的干扰
◆windows xp全中文视窗操作系统,可储存1000条曲线,每条曲线设置30步
◆自动运行中可暂停/继续运行功能
◆智能升降温斜率控制功能
◆PlD参数自整定功能,可存储多组PlD参数供系统运行调用功能
◆系统故障的检测与报警功能、系统误差修正(单点或多点动态修正功能)
◆具有停电后断点继续运行功能
◆工艺方式:干法氧化、湿法氧化、水汽氧化
青岛福润德微电子设备有限公司
徐鲁阳
女士 (客服)
电 话:
13668894181
传 真:
0532-68017157
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13668894181
公司地址:
中国山东青岛市城阳区北万工业园6号
邮 编:
公司主页:
http://xuluyang123.qy6.com.cn
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